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氦质谱检测仪

    技术参数:

    最小可检漏率(负压模式)  5×10-13Pa?m3/s

    最小可检漏率(正压模式)  1×10-8Pa?m3/s


    检漏口压强  粗检 1500Pa

                中检 200Pa

                精检 40Pa


    响应时间                <1s

    启动时间                ≤3min

    前级油泵抽速              0.5L/s  

    外形尺寸(W×D×H)         845×465×988

    重量                   73Kg